最先端技術へのたゆまぬ取り組み。
そこから生み出された実績と信頼。
FEATURE
特徴
極めて強度が強く、軽く、耐食性に優れた金属、チタン。
溶接、加工、熱処理などによる劣化もなく、さらに他金属に比類なき無毒性・生体適合性を誇ります。
ただし、極めて高難度な加工技術を要するゆえ、誰もが扱える素材ではありません。
私たちは、このチタンを筆頭とする難削材の加工における実績とノウハウにおいて、唯一無二の存在であると自負しています。
ACHIEVEMENTS
開発実績
TITANIUM ELECTRODE
チタン電極
- 民生用 アルカリイオン整水器、強酸性水生成器、還元水素水生成器用電極の開発、量産化技術の確立し、平成5年より継続する。ピーク時は1,000,000枚/年を製造し、現在も国内市場の約50%を製造する。
- 試作時の電極板は、以前は全てワイヤーカットで行われていたが(平成5年時)弊社がレーザカットにてブランク技術を確立、短納期、低コストを可能とした。
- 金型技術の確立。チタン素材は電気抵抗値が高く発熱し易い為に、プレス打ち抜き時の発熱により溶着が発生し、回避する事が困難で有ったが、金型面粗度の向上とクリアランス設定の最適化、専用潤滑剤の開発により、耐ショット数100万ショットの金型を実現。
- 抵抗溶接技術の確立。溶接部位の酸化は、事後処理が不可欠で有った為に不活性ガス雰囲気中での溶接が必要で有った。不活性ガスはアルゴンガスを使用するが高額で有る為、抵抗溶接機本体の仕様変更と特殊な電極を開発する事により、溶接部の酸化を極端に低減し、不活性ガスの使用を不要としコストダウンを実現した。
- 業務用電極(リサイクル有り品)の開発に於いて、従来の溶接方法(Tig)からファイバーレーザに置き換えを実施したところ、加熱溶融部位の極小化により、組成変化部位の極小化を実現した為強度の低下を防ぎリサイクル回数が飛躍的に向上した。
(チタンとコバルト、ジルコニウム、タンタル、ニオブ等の不溶性電極の開発、リサイクル) - 防蝕プラント製造会社の依頼により、触媒処理済みのチタンt0.3材を加工し貼り合わせ、大面積の触媒を開発製造。海洋生物付着防止装置の電極として千葉県内の火力発電所に採用される
- 防蝕プラント製造会社の依頼により、羽田沖コンクリート柱の防蝕電極を開発製造する。
- 水素発生電極、量産品の微細加工に於いて、エッチングにて量産化に対応する。0.2mm角を0.3mmピッチで電極全面に加工し、平面度も維持を可能とした。現在8,000枚/月を加工する。
- 20μ角の繊維焼結材を、専用の治具を使用しレーザブランク、溶接前工程を経て気密溶接を可能とし、高付加価値の電極素材を開発する。
(国内数社の水素発生電極、自動車製造会社が開発中の触媒基材) - 上記繊維焼結体を上回る表面積の触媒基材を開発中。
SEMICONDUCTOR MANUFACUTURING EQUIPMENT
半導体製造装置関連
- 有機EL製造装置メーカーの依頼により有機EL用チタン製バッキングプレートの試作を受注する。
- 光学品製造メーカーの露光装置部品を受注する。主に板金部品を継続受注するが、G6サイズ、チャックプレートの平面度精度向上の相談を受け、試作品開発に参加する。
- 光学品製造メーカーの露光装置筐体フレームベース部材、鈑金部材の量産部品を受注開始する。
- 化学製品製造メーカーより依頼を受け、インライン、薄膜タンデムソーラーパネル製造装置、SUS製カート、ホルダーの開発を受注する。要求精度をクリアーし完成品納入を開始する。以降装置の大型化を進めてPhase3迄受注する。
- 半導体製造装置メーカーより依頼を受け、G8(G7.5)サイズ基板搬送トレイ開発を受注。軽量化と生産性の向上、コストダウンを実施。中空構造を提案し採用され、設計から参加する。完成品に近い状態で熱処理を実施する為に、他社では同性能の製品が出来ず市場を独占する。2006年より量産を開始し、以降G10、G6、G10.5も開発し、計2,000トレイ以上の納入実績有り。
- 上記装置で使用する搬送部品の長尺化を開発依頼。DDLツインヘッド表面改質装置を開発導入する。モジュール部のみの焼き入れを可能とし、素材に靭性を残す為に長期間の使用が可能と成る。2006年に納入した装置駆動部は現在も稼働する。
- 半導体製造装置メーカーより薄膜ソーラーパネル製造用シャワープレートの開発を依頼。高炉メーカーに薄板5幅UPの素材生産を依頼し発注。1枚板での製品化を可能とする。加工ではリニアドライブCO2レーザ装置を開発導入し、SUS薄板での製品化に成功する。微細孔の真円度維持と矯正処理無しでの平面度維持を達成しコストダウンも達成する。計2,000枚強の納入実績有り。
- 半導体製造装置メーカーより国内α社向けアルミ製搬送トレイの開発を受注。G8インラインアルミトレイの歪発生を防ぎ製品化に対応する。
- 半導体製造装置メーカーより国内β社向け、有機EL照明用蒸発源部品の試作開発を受注する。内部構造が複雑な為に、構造設計より参加し製品化に成功する。
- 半導体製造装置メーカーより国内β社向け有機EL用チタンマスクの開発を受注する。薄いチタンの部材の為、素材時の熱処理以降は、加工応力の発生を極力低減させ、内部残留応力の少ないマスクの製品化に成功する。先端最薄肉部0.2mm。
OTHER
その他
- 海洋温度差発電事業社よりNEDO実証用タービンジェネレーターの開発を依頼され着手。実証用超小型タービンジェネレーターの為、エネルギーロスを廃する為に減速機を用いず機軸一体構造とする。(大手重工業メーカー技術者が不可能と判断した製品)数度のトライの結果問題点を克服し、沖縄県久米島の海洋温度差実証実験設備に設置、2013年に発電を開始し沖縄電力に系統連系された。2016年開発を継続し性能を向上させたタービンジェネレーターを製作納入。以降安定稼働を継続中。
- 佐賀大学海洋エネルギー研究センター(IOES)内に設置済みのタービンジェネレーター2機を、久米島で実証した高効率タイプのタービンジェネレーター2機に置き換える。
- 産業機器製造メーカーより連続稼働が可能な縦型遠心分離機の開発を受託。消耗部位の設計変更により低コスト化を実現する。
- 自動車製造メーカーより、水素発生装置圧力容器の開発を受託。目標精度を達成する。